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光纤OEM 模块 Luxtron m920 Series

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光纤

产品介绍

适用于-100 至 330ºC 高级能源的 Luxtron 四通道 m924 和双通道 m922 半导体模块的光纤温度传感设计用于对静电夹头、腔室和其他器件进行蚀刻和晶圆制造厂设备温度监测。 • 组件混合匹配 • 与当前的半导体 Luxtron 品牌荧光探头和光纤扩展器 配合使用 • 内置校准表可与定制 AE 探头进行高精 度测量 • 可实现高达 ±0.05°C 的精度(取决于探头) 概述 完整的 Luxtron®m920 系列 OEM 解决方案采用电子模块组件,配有两块板和探头。 主板包含光纤温度传感通道、数字输出(RS232 ASCII 和 RS485 Modbus)和电源连接。 模拟输出板提供 0 至 10 V 或 4 至 20 mA 输出,并安装在主板上方。 还提供一个可选的金属外壳。 m920 系列系统采用氟光技术。 m920 系列主板对来自荧光探头的测量信号进行调节,并向 OEM 控制系统报告校准温度。 优势 • 针对不同的蚀刻和晶圆制造工艺实现高精度和高温度范围 • 通过快速采样率监控更快的坡道条件 • 利用这种低噪声解决方案获得更好的温度测量 • 利用高可靠性实现低故障率 •接收支持在全球范围内支持定制集成和探头设计

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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。