SMC阀门

通径: 300 mm
压力: 0 Pa
温度: 20 °C - 150 °C

... 用于高真空的平行密封狭缝阀 - 使用寿命长：300 万次循环。 - 颗粒生成量低：减少 1/5 或更多。 - 可更换波纹管。 - 机械端锁。 - 耗气量减少 22%。 ...

压力: 1, 0.7 MPa
温度: -5 °C - 60 °C

... - 旋转式手阀 - 滑环设计 - 车身/面板安装 - 2 / 3个位置可选 - 大号/红色手柄可选。 ...

通径: 11, 18, 14 mm
压力: 0.6, 0.4, 1, 1.6, 1.2 MPa
温度: -20 °C - 60 °C

... - 用于蒸汽(也可用于空气和水) - 角座结构造成的低压力损失 - 10 cm3/min以下的低泄漏（橡胶密封）。 - 使用寿命长：300万次（蒸汽）500万次（空气）。 - 本体材料：相当于316L的不锈钢，青铜（CAC）。 ...

压力: 0 Pa
温度: 5 °C - 150 °C
流量: 5 l/s - 200 l/s

... 高真空角阀系列XL提供优异的导热性，使整个阀体的温度均匀，并明显减少阀内气体的凝结。该阀不含重金属，如Ni（镍）或Cr（铬），低溅射率也有助于将半导体晶片的重金属污染降到最低。 ...

通径: 3.2, 4, 6 mm
压力: -100,000 Pa - 1,000,000 Pa
温度: -5 °C - 60 °C

・内置快换管接头，省空间&减少配管工时 ・省空间 　快换管接头内置，尺寸减小了约35%（减小25.8mm） ・轻量化 　树脂化主体使重量减小80%（减小48g） ・减少了更换执行器部分时的作业工时 　采用不使用螺钉的卡子方式，更换更容易

通径: 0.25, 0.375, 0.5 in
压力: 0.1 MPa - 1 MPa
温度: -5 °C - 60 °C

・耐异物性提高。 ・冷凝水排水量提升。 　冷凝水排水量：最大100cm3/次（是原来的3倍）。 ・耐环境性提高／采用透明杯体保护罩，全方位保护。 ・可视性提高：360°皆可观察。 ・重量轻：质量减小22%。 ・维护所需空间减小。 ・维护性提高。 　外壳采用快速拆装的结构，无需工具。 ・可根据使用环境选择杯体保护罩的材质。

通径: 4 mm - 22 mm
压力: 0 Pa - 500,000 Pa
温度: 0 °C - 100 °C

化学液用气控阀／接头一体型 ・主体材质：New PFA。 ・相同形状的N.C.／N.O.／双作用。 ・可用于100℃的流体温度。 ・集装底座型号：LLC2，LLC3，LLC4，LLC5。

通径: 11, 18, 14 mm
压力: 0.4 MPa - 1.6 MPa
温度: -20 °C - 60 °C

・用于蒸汽(空气、水亦可)。 ・采用角座构造，压损小。 ・弹性体密封，泄漏量小。 ・长寿命：300万次(蒸汽)、500万次(空气)。 ・低泄漏：10cm3/min以下。 ・省空间：高度100mm。 ・主体材质：相当于SUS316L、青铜(CAC)。

通径: 0.25 in - 0.75 in
压力: 3,500 psi
温度: -40 °C - 71 °C

・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。 ・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。 ・接触气体部分经过电解研磨处理。 ・外部金属密封构造。

通径: 16 mm - 160 mm
压力: 1,000,000 Pa
温度: 5 °C - 150 °C

铝制高真空L型阀 ・采用铝制主体 　均一的烤焙温度 　重量轻、外形紧凑 　放出气体少 　重金属污染少 ・可更换波纹管

压力: 450,000 Pa - 600,000 Pa
温度: 150 °C

・长寿命：300万次（常温时） ・发尘量：减少至1/5以下（与以前型号相比） ・维护性提高 　波纹管更换更容易 　可通过顶部拆装们（订制规格） ・安全对策 　采用机械式端锁机构