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重复精度: 50 nm
运行行程: 31, 6 mm
... TRIPOD 52-6DoF 运动 系统有六个自由度，使用 SMARSLIDE 高精度压电 定位器。 TRIPOD 52-6DoF 的核心部件是 TRIPOD 52-Core 平行运动顶倾平台。其设计有三个径向排列的塔架，可实现顶板的滚动和俯仰运动，Rx 和 Rx 的总行程分别为 20°和 19°，Z 方向的线性平移为 6 毫米。在 TRIPOD 52-Core 的顶部有一个 SR-3211 旋转平台，可绕 Z 轴无限旋转。TRIPOD ...
SmarAct GmbH
重复精度: 50 nm
运行行程: 31, 6 mm
... TRIPOD 92-Core 与 CLS-92 模块化 系统完全兼容，可放置在由两个 CLS-92 线性平移平台组成的 XY 平台上。底板可直接安装到带有 25 毫米栅格的标准光学面包板上。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个 系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。 重复性是在每个 系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。 ...
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运行行程: 14, 200 mm
... -9222 定位器完成了该 系统，提供X、Y和Rz轴的自由度。TRIPOD 400-6DoF以其大的XY平面行程范围和动态性能给人留下深刻印象。此外，它允许在高速度下承受高负荷（高达6公斤）。该 系统配备了一个可调节的重量力补偿和气动制动器，即使在断电和紧急制动时也能保持位置稳定。为了实现广泛的应用，我们提供顶板的定制选项（开孔、孔型等）。 旋转行程的数值是在顶板表面的支点上给出的。 对于不同的姿势，整个 系统的整体尺寸可能更大。欲了解更多信息，请参见下载区的CAD模型。 重复性是在每个 系统的顶板上方约 ...
SmarAct GmbH
重复精度: 50 nm
运行行程: 11, 20 mm
... SMARPOD CLS-32 属于中型 系统，配备可更换驱动单元，因此非常适合高可用性应用。 SMARPOD CLS-32 的主要特点是可更换驱动单元 (EDU)，可确保轻松快速地更换压电驱动装置，而无需完全拆卸 定位 系统。 底板可选配安装柱，用于在 SMARPOD 移动平台附近放置工具、传感器或其他组件。 旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。 对于不同的姿势，整个 系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 ...
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... 在科学和工业领域的许多应用中，样品或部件的 定位需要两个以上的自由度。即使在极低的温度和狭窄的空间内，也必须以最高的精度移动有效载荷。 SmarActs 的低温 定位 系统具有模块化、精确、可定制和热管理等特点，可在 定位或扫描任务中尽可能保持样品低温。 任何 XYZ 定位 系统的核心部件都是线性平台。本例中使用的是 ...
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... XYZ 定位 系统持有传感器头，并将激光束扫描到样品上。 XYZ 定位 系统用于 定位干涉仪的探测光束，并将其扫描到感兴趣的区域。 定位 系统是围绕着三个SmarAct闭环 定位器建立的，它们被封闭在一个紧凑的保护壳中。每个 定位器的最大扫描范围为20毫米，重复精度为50纳米。传感器头安装在最低的 定位器上。XYZ 定位 系统安装在一个直径为25毫米的柱子上，因此其高度很容易调整，以适应不同尺寸的样品。甚至可以将 定位 系统从其安装柱上拆下来，以便将其安装在一个定制的设置中，或与另一个仪器结合。 ...
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