RoboTechnik Intelligent Technology Co Ltd自动化系统

工艺: ● 适应M2(156.75),M4(161.75),G1(158.75),M6(166),M10(182),M12(210)及230mm硅片 ● 兼容不同工艺设备和不同尺寸的石英舟 特点： ● 上料和下料：花篮 ● 输出 ：石英舟，一拖一/二 ● 陶瓷吸盘，陶瓷快插顶齿 ● 标配离子分片风刀 ● 可选方阻测试，亲水性测试，缺片检测，带水片检测 ● 可选支持MES功能和远程诊断功能 ● 可选智能IGV接口 ● 智能机器，OEE统计和能源消耗分析功能

工艺： ●适应M2(156. 75), M4(161. 75), G1 (158. 75), M6(166), M10 (182), M12 (210)及230mm硅片 ● 兼容不同尺寸石墨舟的PECVD工艺 特点： ● 上下料：花篮或堆叠 ● 输出：石墨舟 ● 实时温度监控 ● 可选在线色差／膜厚检测， PL检测， 碎片检测， 翘片检测， 翻转 ● 可选支持MES功能和远程诊断功能 ● 智能机器， OEE统计和能源消耗分析功能 ● 标配舟温检测， ...

工艺： ● 适应M2 (156. 75), M4 (161. 75), G1 (158. 75), M6 (166), M10(182), M12(210)及230mm硅片 ● 兼容不同尺寸的PERC工艺石英框 特点： ● 上下料：花篮或堆叠 ● 3道上料，3道下料 ● 输出：石英框 ● 可选MES接口和远程诊断 ● 可选智能IGV接口 ● 智能机器，OEE统计和能源 ● 消耗分析功能

工艺： ●适应M2 (156. 75), M4 (161. 75), G1 (158. 75), M6 (166), M10 (182), M12 (210)及230mm硅片 ●兼容不同品牌的制绒和刻蚀设备 特点： ●输入：花篮或堆叠 ●输出：花篮 ●可选高精度蚀刻量称重碎片检测，叠片检测， 翻转 ●可选5道、6道8道或10道 ●可选MES接口和远程诊断 ●OEE统计及能耗分析 ●可选智能IGV接口

工艺： ●适应M2 (156. 75), M4 (161. 75), G1 (158. 75), M6 (166), M10 (182), M12 (210)及230mm硅片 ●兼容不同品牌的制绒和刻蚀设备 特点： ● 输入：叠片盒 ● 输出：花篮 ● 可选高精度称重， 隐裂， 尺寸， 碎片检测 ● 上料可选2道或3道 ● 可选MES接口和远程诊断 ● OEE统计及能耗分析 ● 可选智能IGV接口

... 智能穿梭机械臂（多轴穿梭臂设计， 独立控制绝对值编码器设计 快速更换料盒） MES 清洁能源 扩散、热氧、退火工艺自动化系统 PECVD工艺自动化系统 一体机MAiA,ALD,SiNA工艺自动化系统 蚀刻工艺自动化系统 ...

... 75), M6(166), M10 (182), M12 (210)及230mm硅片兼容不同尺寸的石墨舟或石墨框 ● 适合HJT工艺 特点： ● 上下料：花篮 ● 输出：石墨载板 ● 可选PL测试 ● 洁净室等级1000 ● 载板自动清理功能 ● 可选支持MES功能和远程诊断功能 ● 可选智能IGV接口 ● 智能机器,OEE统计和能源消耗分析功能