Pfeiffer Vacuum/普发高性能真空泵

流量: 67 l/s
声级: 48 dB
重量: 1.7, 3.1 kg

具有 67 l/s 对于 N2 抽吸能力的紧凑、高性能涡轮泵 产品描述 - 集成的驱动电子装置，防护类型 IP54 适合于工业用途 - 准 S2 和 UL/CSA 认证 - 适合所有标准应用 - 紧凑结构形成的最低空间要求 - 对于所有气体的高抽吸能力和极高压缩

Pascal 2021 HW (21 m3/h) 21 m3/h 的双级旋转叶片泵，高水蒸气容量版本 产品描述 • - 由于优化了气镇系统，湿法工艺的使用寿命最长 • - 采用气镇控制和油泵设计，操作安全性高 • - 由于优化了材料选择，泵的使用寿命更长

流量: 0 m³/h - 2.5 m³/h

具有最高 2.5 m3/h 抽吸能力的干式、无油隔膜泵： 产品描述 • - 绝对无油 • - 干燥且非腐蚀性气体的输送 • - 薄膜和阀门的使用寿命长 • - 非常安静 • - 可用作涡轮泵的前级泵和独立泵 • - 集成的气镇阀扩展使用范围

流量: 200 m³/h

应用领域 • - 半导体工业中的闸室和转接室 • - 在光伏应用中的闸室和溅射室 • - 低温应用和研究实验室使用 • - 工业（低温，气体制造，激光源） 客户价值 • - 高性能 • - 可靠 • - 高效节能 • - 紧凑 • - 可堆叠 • - 低振动和噪声水平 • - 即插即用系统：集成型监察装置 • - RS232 / RS485 接口可选 产品描述 • - 高吸气能力 200 m3/h

流量: 210 m³/h - 630 m³/h

具有 210 - 630 m3/h 抽吸能力的气冷罗茨泵 产品描述 • - 无与伦比的高压差 • - 极高压缩值 • - 集成的冷却气瓶

流量: 750 m³/h - 3,600 m³/h

具有 750 - 3,600 m3/h 抽吸能力的气冷罗茨泵 产品描述 • - 无与伦比的高压差 • - 极高压缩值 • - 集成的冷却气瓶

流量: 4,000 m³/h - 12,000 m³/h

具有 4.000 - 12.000 m3/h 抽吸能力的气冷罗茨泵 产品描述 • - 无与伦比的高压差 • - 极高压缩值 • - 集成的冷却气瓶

真空范围: 22 mbar
流量: 75 l/h
输出功率: 110 kW

涡轮分子真空泵 - HiPace 80 Neo 具有 67 l/s 对于 N2 抽吸能力的紧凑、高性能涡轮泵 产品描述 - 集成的驱动电子装置，防护类型 IP54 适合于工业用途 - 准 S2 和 UL/CSA 认证 - 适合所有标准应用 - 紧凑结构形成的最低空间要求 - 对于所有气体的高抽吸能力和极高压缩

流量: 32 l/s

涡轮分子真空泵 - HiPace 30 具有对于 N2 最高 32 l/s 抽吸能力的小型、高性能涡轮泵 产品描述 * - 结构极其紧凑，对空间要求极低 * - 集成的驱动电子装置，防护类型 IP54 适合于工业用途 * - 运行数据监控形成的最高运行安全性 HiPace® 30 * - 集成的驱动电子装置，防护类型 IP54 适合于工业用途