Iwaki高压泵

流量: 0 l/h - 840 l/h
压力: 0.6, 0.55 MPa
功率: 10 W - 150 W

... 。由于采用了磁力驱动系统，因此没有必要对轴密封进行复杂的改变。 最佳的化学适应性 所有液端部件都是由SUS316、PTFE、PPS和PEEK制造的。这些材料组合具有极高的耐腐蚀性。因此，可以保证许多不同的腐蚀性化学溶液的传输。 高压齿轮旋转系统 MDG系列的特点是高压和小排量的比例。尽管它的尺寸很小，但压力可达0.6兆帕，真空度为5.3千帕。 卓越的耐热性能 由于只使用了最耐热的材料，因此消除了由于热膨胀引起的操作问题。我们的标准MDG泵的额定温度高达95℃。对于需要更高的操作温度的应用，请不要犹豫 ...

流量: 0 l/h - 5.4 l/h
压力: 0.2 MPa
液体温度: 0 °C - 60 °C

... 具有很高的精度和微公差。因此，可以实现±1％的重复性。通过改变泵头的角度，计量能力可以在0和最大之间持续设置。 优异的化学反应能力 为了处理尽可能多的化学物质，所有的湿端部件都是由高抗性材料（SiC, PTFE & SCS14）专门制造的。 在真空中计量，在高压区域抽出 通过使用无阀结构，可以将恒定的流量直接加入到真空中。同时，如果引流端加压，也可以进行恒定体积的配料。 处理粘稠的液体和固体物质 独特的无阀结构和SiC的抗撕裂性使其能够处理研磨性液体和包含固体物质的液体。高粘性液体的恒定流量可以达到20000mPas ...

流量: 14, 16, 17, 20 l/min
压力: 0 Pa - 350,000 Pa
功率: 180 W - 220 W

... 磁力驱动涡轮泵 有了MDT系列的磁力驱动涡轮泵，可以使用塑料材质。排放压力可达 0.35 MPa。由于采用了无密封结构，避免了泄漏和轴封的更换。通过MDT的紧凑测量，最适合纳入冷却和冷却器系统，如激光或X射线设备等。 ...

流量: 0 l/h - 6,000 l/h
压力: 0 Pa - 500,000 Pa
液体温度: 5 °C - 180 °C

... 。此外，发生的脉动可以被最小化。根据泵的类型，冲程率是不同的。 无污染的设计 所有的液体端盖都是由氟树脂制成。该泵的设计使其没有金属部分暴露在外。甚至外部也涂有氟树脂。轴封的使用（正在申请专利）具有显著减少颗粒物排放的效果。 广泛的液体温度范围/高压排放 可以处理温度从5到180°C，压力高达0.5MPa的液体。该泵可用于清洗、CMP或化学循环过程。 易于维护 接近开关很容易更换，无需拆卸泵。此外，没有必要重新拧紧螺栓，这样就减少了可能的停机时间。 传感器驱动系统 通过使用内部接近开关，传感器驱动系统打开 ...

流量: 0 l/h - 2,400 l/h
压力: 0 Pa - 400,000 Pa
液体温度: 5 °C - 100 °C

... 即使在低冲程的情况下，也能确保可靠的操作和稳定性。 对于单晶硅的加工，我们提供FA-2E，这是一种配备有喷雾系统的低流速的横向型。FA-40VEW是用于高流量的垂直型，可以清洗最大200/300毫米的晶圆。 厚实的H型波纹管（FA-40VEW）具有出色的抗高压能力，保证了持续运行的长寿命。如果使用特殊的泵驱动器，可以很容易地控制和监测排放。 ...

压力: 0.05 MPa - 0.3 MPa
液体温度: 20 °C - 60 °C
重量: 1.1, 1.2, 1.5 kg

... 该化学液体点胶泵 (CFD) 设计用于处理纯度增强的晶圆液体。 也可以转移具有高蒸汽压力的化学品，如氨水和过氧化氢。 通过使用氟塑料，确保了高纯度和优异的耐化学性。 除了行程速率之外，行程范围更广。 PFA 软管连接可避免颗粒的积聚。 ...