HORIBA STEC蒸发器

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液体蒸发器
液体蒸发器
MV-2000 series

... 混合注射系统液体汽化器 MV-2000系列使用新的龙卷风流动方法,即使在低温下也能实现稳定的汽化。这适用于汽化一系列液体,甚至是具有挑战性的来源,如 "High-k",一种容易热解的液体来源。 使用新的龙卷风流法在低温下稳定汽化 更高流速的汽化(添加稳定性数据)。 可以汽化容易热解的液体来源 ...

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HORIBA STEC
热量蒸发器
热量蒸发器
LSC series

... HORIBA最畅销的烘烤系统是为了满足当今高科技产业的要求而开发的。在不需要载气的情况下,该系统可以提供稳定的气化材料,如TEOS(速率为600 SCCM)和H2O(速率为2 SLM)。为了便于使用,所有的设备维护都可以从设备的前面进行。 特点 高流速气化 LSC-A100提供稳定的气化材料,如TEOS 600SCCM和H2O 2SLM。 所有的设备维护都可以在设备的前面进行 可选的PocketPC型PDA可用于监测LSC的运行状况,并记录和分析运行日志。 ...

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HORIBA STEC
加工蒸发器
加工蒸发器
VC-1420

... 直接液体注射系统 VC系列能够在没有载气的情况下快速汽化纯水或其他液体来源,这使您能够构建一个更紧凑的汽化系统。 HORIBA可以为您提供一个定制的汽化系统,包括这个VC系列和所有您需要的其他部件: 一台液体质量流量计用于流量测量、 一台用于测量蒸汽流速的高温质量流量控制器、 阀门、过滤器、加热器等。 特点 尺寸紧凑 可安装在各种位置 最畅销的TEOS汽化系统型号 结合SEF或LF,并可进行数字控制 不需要特殊的起泡罐或汽化罐 DeviceNetTM模型的阵容 符合RoHS标准。 ...

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HORIBA STEC
热量蒸发器
热量蒸发器
LU-A1000

... LU系列提供不间断的、安全和可靠的液体前体输送到液体材料烘烤系统和注射系统。这导致了正常运行时间的增加,减少了操作员的操作,并降低了工艺污染的风险。 LU系列包括一个自动执行剩余液体清洗顺序的功能。 使用LU系列,产品产量和维护效率得到了提高 特点 蒸汽压力监测功能(专利申请中),在更换母罐时检查清洗效率,作为标准配置。 监控母罐中剩余材料数量的称重传感器可作为选配件。 设计紧凑,LU-A1000系列使用集成的气体系统,与传统的配件相比,可以大大减少尺寸。 ...

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HORIBA STEC
液体蒸发器
液体蒸发器
MI-1000

... 这种混合喷射系统可以通过使用气液混合汽化方法快速汽化各种液体来源。这种方法可以使高沸点的液体稳定地汽化。 特点 气液混合汽化方法可实现高沸点液体的稳定汽化。 设计紧凑,易于集成 汽化效率比传统汽化方法高 可以产生更大的流量 汽化温度可以降低。 测量技术 注入方法 以下是汽化液态源并将其供应给工艺室的主要步骤。 1.液体源的流速被测量,液体的数量被反馈并由阀门控制。 2.液体被瞬间完全汽化。 3.气体被释放,而不被允许重新凝结成液体形式。 由于载气的压力在喷射器内的喷嘴前面比较高,所以可以有效地加热。液态源和被加热的载气在喷嘴前面的气/液混合区混合在一起,当这种混合物通过喷嘴时,压力降低导致混合物汽化。 ...

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气体蒸发器
气体蒸发器
IR-300

... 金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺被广泛用于LED、光学设备和其他部件的制造。通过控制温度、压力和载气流速(鼓泡法)将液体和固体前体输送到反应室。在线IR-300系列实时测量和报告前体浓度,给用户带来以下好处: 优化工艺控制,生产更多的高等级器件 提高器件产量,减少废品 提高可重复性 知道什么时候需要更换起泡器 延长MTTA 减少计划外的干预措施 减少宝贵的前驱体浪费 实时监测 快速的反应和出色的重复性,可以实时跟踪蒸汽浓度的变化 多校准曲线功能(可选) 允许对多达3种化学品或范围进行浓度测量 多重显示功能 IR-300装置顶部的多显示功能为用户提供了浓度监测和前体供应线状态的现场检查能力。 通讯功能 通过DeviceNet™、RS485和模拟通信进行连接 简单、紧凑的设计 该设备的正面尺寸为124毫米,结构紧凑,无需安装方向,易于集成。 ...

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HORIBA STEC
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