Brooks instruments质量流量调节器

流量: 0 l/min - 2,500 l/min
压力: 310, 70, 103 bar

SLA5800 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器 提升并简化质量流量控制 试想，仅需一个质量流量控制器平台即可操控同一过程中的十四种不同压力或流速。另一方面，还能够同时确保输出效果严格相同并具有高精度和可重复性。这就是 SLA5800 系列质量流量计和控制器所能够带给您的先进简化效果。 SLA5800 ...

流量: 0 l/min - 300 l/min
压力: 7 psi - 90 psi

针对半导体工艺的完美性能 嵌入式诊断利用实时以太网数据采集能力 超稳定流量传感器（每年≤设定值0.15%的漂移）使低流量更精准，同时减少维修的需求 改进的阀门关闭（≤bin范围的0.15%）减少阀门内漏，从而改善第一片晶圆效应 新增强的抗压力瞬时波动在持续流体传输中降低了串扰流敏感度 特点 每年<满量程的±0.15%的长期零点稳定性 全金属密封的流体通路：可选5µ 或 10µ inch ...

压力: 0 psi - 150 psi

... 它降低了气体输送系统的复杂性和拥有成本，因为它不需要诸如压力调节器和传感器等部件。 了解有关GP200系列设计的更多细节，并看看它是如何工作的。 特点 真正的差压测量 较低的进口压力操作 下游阀门结构 匹配的瞬态响应 零泄漏的控制阀 MultiFloTM技术提供了无与伦比的灵活性--设备可以为数千种不同的气体和流量范围配置进行编程，而无需将MFC从气路中移除或影响精度 ...

流量: 0 l/min - 100 l/min
压力: 0 psi - 145 psi

5850EMH系列高温质量流量控制计 页面副小标题 - 已被验证的长期稳定性，高温应用中超高纯表现 来自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合出色的金属密封泄漏完整性，为高温气体测量和控制提供了最先进的性能，具有多种选择，允许最大的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是高稳定的传感器，其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。 特点 高泄漏完整性（小于 ...