Brooks instruments气体流量调节器

流量: 0 l/min - 2,500 l/min
压力: 310, 70, 103 bar

SLA5800 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器 提升并简化质量流量控制 试想，仅需一个质量流量控制器平台即可操控同一过程中的十四种不同压力或流速。另一方面，还能够同时确保输出效果严格相同并具有高精度和可重复性。这就是 SLA5800 系列质量流量计和控制器所能够带给您的先进简化效果。 SLA5800 系列的特点是高精度、高零点稳定性以及高重复性，而上述特性正是行业领先者对质量流量测量和控制技术的需求所在。产品设计采用先进的可配置多气体/多量程功能，相较于竞争产品拥有更好的零点漂移参数并且经确证能够更持久地保持出厂校准状态和精度 ...

流量: 0 l/min - 300 l/min
压力: 7 psi - 90 psi

... 嵌入式诊断利用实时以太网数据采集能力 超稳定流量传感器（每年≤设定值0.15%的漂移）使低流量更精准，同时减少维修的需求 改进的阀门关闭（≤bin范围的0.15%）减少阀门内漏，从而改善第一片晶圆效应 新增强的抗压力瞬时波动在持续流体传输中降低了串扰流敏感度 特点 每年<满量程的±0.15%的长期零点稳定性 全金属密封的流体通路：可选5µ 或 10µ inch Ra的表面粗糙度 抗腐蚀的哈氏合金升温传感器在温度升高时改善了测量的重复性 MultiFloTM ...

压力: 0 psi - 150 psi

... 系列是第一个完全不敏感的基于压力的质量流量控制器（P-MFC），专门为半导体制造中的先进蚀刻和沉积工艺设计。 GP200系列P-MFC具有专利结构，克服了传统P-MFC的局限性，即使在输送低蒸气压工艺气体时也能提供最精确的工艺气体输送。它包括几个独特的设计方面，包括一个集成的差压传感器和一个下游阀门结构，在行业内最广泛的操作条件下实现最精确的工艺气体输送。 由于GP200系列支持如此广泛的工艺条件，它可以作为许多传统P-MFCs和热MFCs的替代品和升级产品。它降低了气体输送系统的复杂性和拥有成本，因为它不需要诸如压力调节器和传感器等部件 ...

流量: 0 l/min - 100 l/min
压力: 0 psi - 145 psi

... /s) He） 高纯度 VAR 316L 不锈钢 无磨粒 氦泄漏检查端口 常闭阀（可选常开阀） 电致动阀复位 低命令流量断流 TTL 兼容"关阀"功能 优势 稳定、可靠的产品平台 高流量，高达 100 lpm（N2 当量） 全金属流路提高气体纯度及减少泄漏 仅使用模拟输入/输出容易安装和维修 应用 光纤制造——MCVD，OVD，AVD 水汽流量控制

流量: 0 l/min - 100 l/min

... 使整合在一起的手动流量调节阀的压力差保持恒定。内部隔膜驱动控制阀接收一侧的输入压力和输出压力，而弹簧作用于另一侧。该设计平衡了压力变化，保持确保恒定流量的整个阀上的压力差不变，从而可以为许多气体和液体服务类应用提供精确的流量控制。它可以用作一个独立的流量控制器或一体化安装到流量计上，以节省空间，改良安装。 ...