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... MC 是我们的中型内部安装端板。 它可以处理高达 2500 毫米的目标，额定功率高达 100 kW 直流或 80 kHz MFAC。 SCI 端块具有高可靠性和简单易于维护的设计。 单端配置减少了旋转和静态密封件的数量，这是旋转阴极中最常见的失效模式之一。 我们独特的灌水和排水功能可以改善目标冷却和在冲击时全排水目标水。 该设计消除了端块内部电镀腐蚀的可能性，从而导致漏水和短路。 溅射组件的 MC 端块可安装在任何新的涂层机上，也可轻松替换平面系统。 特点 专利输送技术 独特的目标附件方法 耐用，使用寿命长的旋转密封件 行业标准安装盖 非专有目标设计 专利目标填水 ...
Sputtering Components
... CC的封装极为紧凑，专为80毫米内径的靶材设计，是小型系统或研发系统的绝佳选择。 规格 种类 简单的单端设计，带外置支持，可快速更换靶子，可靠性高，易于维护；适用于80毫米内径靶子。 功率（最大） 20 kW DC或MFAC V/A 1500 V / 50 A 目标长度（最大） 1000毫米 厚度 122毫米 维护 根据您的日程安排，在您的设施中自己动手；即将推出教学视频。 端块可以保持安装。 典型要求： 每2年更换一次密封套件和衬套（30分钟）。 4年后的静态密封、轴承和皮带(1小时) 可提供定制工具 特点和优势 ...
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