PVD镀膜机 SYRUSpro series

离子束辅助薄膜用于光电技术

Bühler Leybold 光学公司的 SyRusPro 系列是行业领先的平台，具有高精度和高产量的精密光学涂层。 SyrusPro 涂层器非常适合从深紫外线 (DUV) 到可见光谱 (VIS) 到红外 (IR) 光谱范围的应用。 各种涂层包括边缘过滤器（短通和长通）、UV — IR 切割过滤器、缺口过滤器和窄带通过滤器、二色彩色滤光器和偏振分光器、激光器的 AR 和 HR 涂层等等。 每个 SyrusPro 都配备了大量比勒莱博德光学系统专有和标准化的组件，以满足客户的要求。 这样可以进行简单的更新，以匹配日益增长的工艺要求。 此外，Bühler Leybold Optics 的尖端过程控制系统将高编程灵活性和最高自动化水平结合在一起。 所有这些特性结合在一起，为全天候不间断的光学滤波器生产提供非常精确、高产量和高吞吐量数据。 SyrusPro 涂层机有八种不同的腔室尺寸，内径在 710 毫米到 2810 毫米之间，可实现最大的灵活性。 这意味着我们可以提供相应的腔室，以完美匹配客户定义的载荷能力和基板尺寸。 例如，我们的 1950 毫米或 2810 毫米腔室是极端基板尺寸的理想平台。